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        退火真空爐的結構布局介紹

        2021-01-28 16:24:12 112

          退火真空爐包括設置在爐管內的石英管,爐管前后兩端,其前端蓋和后端蓋,石英管加熱腔在爐管外壁和內壁之間形成,石英管與前端蓋和反應腔之間形成端蓋。

          管內風冷吹掃組件包括進氣管、吹掃管和吸入管,進氣管和吸入管設置在后端蓋上,吸入管和反應室連通,吹掃管設置在反應室中,吹掃管的一端與進氣管連通,另一端延伸至前端蓋附近。

          吹掃管包括連接部、盤管部和延伸部,連接部與進氣管連接,盤管部與連接部連接并位于后端蓋附近,延伸部一端與盤管部連接,另一端延伸至前端蓋附近。

          在這種結構中,氮源氣體通過管中的風冷吹掃組件進入反應室的前端,氮氣從反應室的前端流到后端,吸收大量熱量,然后從管內的風冷吹掃組件中抽離,從而實現對整個反應室的快速冷卻效果。


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